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態(tài)

,


個產(chǎn)品,

對待每一

做到極致認(rèn)真

每一個零件

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮氣烘箱
  • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱,高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
  • 真空無氧固化爐,高溫?zé)o氧烘箱
  • 精密烤膠臺,高精度烘膠機
  • 超低溫試驗箱,零下-120度高低溫箱
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HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵
    發(fā)布時間: 2023-12-13 10:54    

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵

真空干泵具有 靜音<50dBA)和低振動運行的,

密封設(shè)計(真空區(qū)與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風(fēng)險。

極限壓力:1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)

最大入口壓力:1.0 個大氣壓(0 psig)

冷卻 方式:風(fēng)冷

泵凈重: 34 q (75 bs);含包裝: 45 kg(100bs)

尺寸 (高x寬x長(mm)):364x 333x 485

泄漏速度(密封排氣口時):< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵用途


HMDS烘箱的作用

   HMDS烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度,在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學(xué)結(jié)合,使這樣的襯底表面具有疏水性。從而增強光刻與襯底表面的粘附性。

HMDS烘箱性能

溫度范圍:RT+10-250℃

真空度:≤1torr

控制儀表:彩色觸摸屏控制,操作更加簡單,方便

HMDS工藝:蒸汽氣相涂布

安全檢測:超溫保護,HMDS泄漏檢測提示

儲液瓶:HMDS儲液瓶

真空泵:無油渦旋真空泵

工作室(mm):300*300*300/450*450*450、定制





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