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對(duì)

態(tài)

,


個(gè)產(chǎn)品,

對(duì)待每一

做到極致認(rèn)真

每一個(gè)零件
細(xì)

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BCB無(wú)氧烘箱,BCB固化烤箱
    發(fā)布時(shí)間: 2023-04-11 10:52    

BCB無(wú)氧烘箱,BCB固化烤箱應(yīng)用背景

  BCB作為一類(lèi)高性能聚合物,以它特有的性質(zhì),將會(huì)被越來(lái)越多地使用。BCB是具有優(yōu)良的熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性、電絕緣性和機(jī)械強(qiáng)度的高性能材料。在現(xiàn)代高技術(shù)領(lǐng)域有非常重要的應(yīng)用。例如在微電子制造中,用作各類(lèi)器件鈍化防護(hù)和層間介電等。

BCB無(wú)氧烘箱,BCB固化烤箱工藝要求

涂BCB后,聚合物膜層需被處理以確保對(duì)后序處理操作的抵抗性。

由BCB樹(shù)脂構(gòu)成的膜的處理需在無(wú)氧條件下(<100ppm)進(jìn)行。

1.  3-8分鐘 上升到50℃ 恒溫5-15分鐘

2.15-20分鐘 上升到100℃ 恒溫15-25分鐘

3.15-20分鐘 上升到150℃ 恒溫15-25分鐘

4. 40-80分鐘上升到250℃ 恒溫45-65分鐘

5.冷卻

BCB無(wú)氧烘箱,BCB固化烤箱技術(shù)指標(biāo)

工作室尺寸(mm):350*350*350/450*450*450/600*600*600/可定制

真空度:≤133pa

溫度:TT+50~400℃

升溫速率:1~8℃/m,可調(diào)

降溫時(shí)間:350-90℃≤80min

氧濃度:≤10ppm 

箱內(nèi)材質(zhì):316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼

真空泵:渦旋式無(wú)油泵

保溫材質(zhì):陶瓷纖維

冷卻裝置:水冷+風(fēng)冷

操作方式:人機(jī)界面+PLC

運(yùn)行功能:自動(dòng)一鍵運(yùn)行

程序模式:多個(gè)工藝保存編輯



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