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一．無塵無氧烤箱，PI膠固化烤箱概述

  應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

二．無塵無氧烤箱，PI膠固化烤箱技術(shù)參數(shù)

1.主要技術(shù)指標(biāo)

? 材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼，內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼

? 溫度范圍：RT+10-200、400℃

? 溫度分辨率：0.1℃

? 溫度波動度：＜±1℃

? 溫度均勻度：≤±2%

? 潔凈度：class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

? 升溫時(shí)間：5-8℃/min，（空箱測試）

? 降溫時(shí)間：可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）

? 氧含量

高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量

低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量

? 數(shù)據(jù)輸出：溫度和氧含量無紙記錄儀

2.系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

? 熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)：采用覆套式電熱器）無塵無氧化電熱發(fā)生器

? 氣體系統(tǒng)：HEPA過濾效果可達(dá)99.99%,Class100箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀

? 水冷系統(tǒng)：翅片式水冷散熱器，冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量，使得箱內(nèi)溫度快速下降

? 溫控系統(tǒng)：采用日本RKC-PF900溫度控制器，內(nèi)置斜率設(shè)定、PID自整定

? 軟件系統(tǒng)：控制系統(tǒng)采用日本三菱公司FX3G系列高速型邏輯控制器，可與現(xiàn)場總線聯(lián)機(jī)遠(yuǎn)程操控

3. 安全保護(hù)性能

? 報(bào)警功能：1）三色報(bào)警燈  2）超溫報(bào)警    3）熱電偶故障報(bào)警   4）低水壓報(bào)警

? 安保功能：1）短路保護(hù)

 2）漏電保護(hù)

 3）超溫保護(hù)，獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器

 4）電機(jī)保護(hù)，電機(jī)過電流、水冷保護(hù)

 5）電磁門禁保護(hù)，當(dāng)溫度超過100℃，電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門

三、無塵無氧烤箱，PI膠固化烤箱安裝條件

? 環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；

? 周圍無強(qiáng)烈震動；    

? 無陽光直接照射或其它熱源直接輻射，

? 周圍無強(qiáng)烈電磁場影響；

? 周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì)；

? 百級潔凈車間；

? 周圍無強(qiáng)烈氣流，當(dāng)周圍空氣需要強(qiáng)制流動時(shí)，氣流不應(yīng)在直接吹到箱體上；

? 設(shè)備應(yīng)放在堅(jiān)固平穩(wěn)的平面上，并使其保持水平狀態(tài)；

? 安裝設(shè)備使用空開電源 ；

四．無塵無氧烤箱，PI膠固化烤箱常用規(guī)格